导入前预扫演示数据 · 为演示构造
Tape-out / 新品导入前,把未被控制计划覆盖的风险与可能重演的历史失效摆到桌上。每条建议都要人采纳或驳回。
DEMO-MCU-40A · 星瀚 MCU-40A 车规微控制器 · 40nm eFlash · QFP-100 · 车规级 · AEC-Q100 Grade 1、IATF 16949、ISO 26262本次预扫:规则生成 21 条建议
GEMINI_API_KEY 未配置:本次按确定性规则生成,未调用任何模型
规则兜底:基于 13 条 FMEA、10 条特性、4 份控制计划、10 条可检索失效案例,在全部阶段生成 21 条建议(每阶段至多 6 条);全部需人工评审。
芯片设计 · 6 条
| 类型 | 建议 | 风险 | 证据 | 来源 | 处置 |
|---|---|---|---|---|---|
| 控制点 | KPC「高温低压角建立时间裕量」尚无控制点 已采纳的KPC(风险 高)没有任何控制点指向它。规格:SS 角 / 125 ℃ / VDD 1.08 V 下关键路径 setup slack ≥ 5% 周期(≥ 0.31 ns @160 MHz);MCMM 签核含 OCV 与 IR-drop 叠加角;建议 设计评审 · 全部设计项 · 每版本;该阶段尚无控制计划,需新建。 | 高 | CH-B-DSN-01 FC-001 FM-B-D-01 AEC-Q100 Grade 1 | 规则生成 | |
| 控制点 | KCC「IO ESD 防护等级(HBM / CDM)」尚无控制点 已采纳的KCC(风险 高)没有任何控制点指向它。规格:全部 GPIO / CAN / LIN 引脚 HBM ≥ 2 kV(AEC-Q100-002)、CDM ≥ 500 V(AEC-Q100-011),角引脚 CDM ≥ 750 V;ESD 钳位管与二级电阻按 IO 类型分档校核,TLP 曲线留 20% 裕量;建议 设计评审 · 全部设计项 · 每版本;该阶段尚无控制计划,需新建。 | 高 | CH-B-DSN-02 FC-002 FC-010 FM-B-D-02 AEC-Q100-002 AEC-Q100-011 | 规则生成 | |
| 控制点 | 为「冷启动欠压误复位」增加控制点:设计评审 DFMEA 电源域 BOR / LDO 瞬态响应|RPN 168(S8/O3/D7,中)尚无已采纳的控制点。建议 设计评审 · 全部设计项 · 每版本;规格:低温角仿真 LDO 负载阶跃;BOR 阈值增加滞回与去抖;FT -40 ℃ 档增加上电复位时序项。(该 FMEA 条目尚为 proposed,采纳控制点前请先确认条目) | 中 | FM-B-D-04 RMA-2609-002 | 规则生成 | |
| 控制点 | 为「高温数据保持失效(擦写窗口收窄)」增加控制点:设计评审 DFMEA eFlash 阵列与读出放大器|RPN 162(S9/O3/D6,中)尚无已采纳的控制点。建议 设计评审 · 全部设计项 · 每版本;规格:按 AEC-Q100 Grade 1 完成 10 万次 E/W + 150 ℃ 1000 h 数据保持鉴定;FT 增加 margin read 项。 | 中 | FM-B-D-03 AEC-Q100 Grade 1 JESD47 | 规则生成 | |
| 控制点 | 为「高温低压角建立时间违例」增加控制点:设计评审 DFMEA CPU 核关键路径时序(SS / 125 ℃ / 1.08 V)|RPN 160(S8/O4/D5,中)尚无已采纳的控制点。建议 设计评审 · 全部设计项 · 每版本;规格:MCMM 签核增加 SS/125 ℃/1.08 V + OCV 角并留 ≥ 5% 周期裕量;FT 125 ℃ 档增加低压 Vmin 扫描。 | 中 | FM-B-D-01 FC-001 CH-B-DSN-01 | 规则生成 | |
| 历史失效 | 参考历史案例 FC-001:FT 高温(125℃)低压角功能失效:源驱动移位寄存器建立时间(setup)违例 设计裕量不足|FT 高温 125℃ + VDD −5% 角 BIN3 功能失效占比 2–4%,常温与低温全部通过;失效 die 的 Fmax 搜索值比典型值低 6–8%;Shmoo 图在高温低压象限呈规则斜切边界;失效比例与晶圆工艺角强相关(WAT Vth_n 偏高的 SS 角晶圆失效集中)|预防措施:签核 checklist 新增 OCV/IR-drop 联合角与 SS 晶圆 FT 相关性复核;NPI 预扫将「高温低压角建立裕量」列为设计阶段 KPC|相似 0.26:文本相似 0.01(共有:设计);同阶段 芯片设计 | 低 | FC-001 | 规则生成 |
晶圆制造 · 4 条
| 类型 | 建议 | 风险 | 证据 | 来源 | 处置 |
|---|---|---|---|---|---|
| 控制点 | 为「栅氧厚度偏薄」增加控制点:WAT/PCM PFMEA 栅氧化(IO 器件 Tox_IO)|RPN 162(S9/O3/D6,中)尚无已采纳的控制点。建议 WAT/PCM · 抽样 · 每批;规格:Tox_IO 纳入 WAT KPC 并建 SPC(SPC-B-TOX);每批 12 片×5 点全测;超 LSL 批次 hold。 | 中 | FM-B-P-01 FC-004 SPC-B-TOX CH-B-FND-01 | 规则生成 | |
| 控制点 | 为「颗粒沾污(边缘环状)」增加控制点:WAT/PCM PFMEA 后段金属层光刻 / 刻蚀|RPN 112(S7/O4/D4,中)尚无已采纳的控制点。建议 WAT/PCM · 抽样 · 每批;规格:缺陷扫描增加边缘 3 mm 环区单独限值;Foundry 出货报表带缺陷密度。 | 中 | FM-B-P-02 FC-003 FC-005 CH-B-FND-02 | 规则生成 | |
| 历史失效 | 参考历史案例 FC-004:AEC-Q100 认证 HTOL 1000 h 后栅氧 TDDB 失效:栅氧厚度偏薄 栅氧击穿 TDDB|HTOL(125℃,VDD +10%)500 h 读点 2/231 失效、1000 h 读点 5/231 失效,失效模式为 VDD 对 VSS 漏电由 nA 级跃升至 mA 级;FA 剥层后在 eFlash 外围 1.2 V 核心逻辑区发现栅氧击穿点;同批 WAT 的 Tox(栅氧厚度)在 LSL 附近(−4%),Vth_n 偏低约 20 mV|预防措施:Tox 与 Vth_n 列为 foundry 阶段 KPC 并接入 SPC(WECO 规则 1/2);车规批次放行增加 WAT 全参数 Cpk ≥1.67 门槛|相似 0.40:文本相似 0.05(共有:车规、aec、q100、1);同阶段 晶圆制造;同产品 DEMO-MCU-40A | 中 | FC-004 | 规则生成 | |
| 历史失效 | 参考历史案例 FC-003:晶圆边缘环状区域 die 失效:金属刻蚀腔颗粒沾污 沾污|wafer map 外缘 2–3 die 深的环带集中失效(CP BIN3/BIN9 混合),环带位置在同一 lot 各片一致且随刻蚀腔体分流;inline 缺陷检测在 M1 刻蚀后颗粒数由 <20/片跃升至 >200/片,颗粒分布与边缘环带重合;WAT 边缘 PCM 点 Rc(接触电阻)偏高、中心点正常|预防措施:foundry 报表增加「边缘环带失效占比」作为 lot 放行 KCC(≤0.5%);本公司 CP 规则引擎增加 wafer map 环状签名检测|相似 0.26:文本相似 0.01(共有:晶圆);同阶段 晶圆制造 | 低 | FC-003 | 规则生成 |
CP 测试 · 5 条
| 类型 | 建议 | 风险 | 证据 | 来源 | 处置 |
|---|---|---|---|---|---|
| 控制点 | KCC「动态 PAT(DPAT)离群 die 剔除」尚无控制点 已采纳的KCC(风险 高)没有任何控制点指向它。规格:对 IDDQ、Rds(on)、Vref 三项参数按片计算 ±6σ 动态限(AEC-Q001),规格内但超动态限的 die 判 BIN5 剔除;GDBN 邻域坏品 ≥ 5 时剔除中心 die;剔除率 > 2% 批次 hold 复核;建议 100% 测试 · 100% · 每片;加入控制计划 CPL-B-CP-01(v1,draft)。 | 高 | CH-B-CP-02 AEC-Q001 EX-004 FM-B-P-04 WL-B-2609-02 | 规则生成 | |
| 控制点 | 为「参数离群 die 未剔除」增加控制点:100% 测试 PFMEA CP 参数测试与 PAT|RPN 192(S8/O4/D6,中)尚无已采纳的控制点。建议 100% 测试 · 100% · 每片;规格:按 AEC-Q001 实施 DPAT(±6σ)与 GDBN;离群 die 判 BIN5;剔除率纳入批次报表。 | 中 | FM-B-P-04 EX-004 AEC-Q001 CH-B-CP-02 | 规则生成 | |
| 控制点 | 为「针痕偏移 / 接触电阻偏大」增加控制点:100% 测试 PFMEA CP 探针卡接触|RPN 100(S5/O4/D5,中)尚无已采纳的控制点。建议 100% 测试 · 100% · 每片;规格:探针卡每 5 万次触点做针痕与 Cres 检查;Bin 9 占比突升先复测再判。 | 中 | FM-B-P-03 FC-006 | 规则生成 | |
| 历史失效 | 参考历史案例 FC-005:CP Bin 7 漏电偏移 + 晶圆边缘环状失效:后段钝化层颗粒沾污 沾污|CP 良率由基线 93–95% 跌至约 85%;BIN7(IDD 待机漏电超限)占比由约 1% 升至 6–8%,BIN3/BIN5 基本不变;wafer map 失效集中在外缘约 2 die 深的环带,圆心区域正常,同 lot 各片签名一致;WAT 边缘 PCM 点 Ioff 偏高 2–3 倍、Vth_n 偏低约 15 mV,中心 PCM 点正常;复测(retest)失效不恢复,排除探针接触问题|预防措施:CP 规则引擎增加 BIN7 占比 >3% 与 wafer map 环状签名两条自动触发;foundry 控制计划增加钝化层颗粒数 KCC(≤30/片)|相似 0.27:文本相似 0.02(共有:1、cp);同阶段 CP 测试 | 低 | FC-005 | 规则生成 | |
| 历史失效 | 参考历史案例 FC-006:探针卡针痕偏移导致 BIN9 开短路误判 其他|CP BIN9(开路/短路 continuity)占比在某一台探针台上由 <0.3% 突升至 3–5%,其他探针台正常;失效 die 在 map 上呈与探针卡 touchdown 布局一致的规则重复图形(如每个 4×4 die 阵列的固定角位);针痕检查显示针痕偏离焊盘中心 >15 µm 并压到钝化层;复测(retest)后约 90% 恢复为良品|预防措施:CP 规则引擎对 BIN9 增加「单探针台突升」与「规则重复图形」检测,提示优先怀疑测试硬件而非晶圆;复测率列为 CP 阶段 KCC|相似 0.27:文本相似 0.02(共有:cp、测试);同阶段 CP 测试 | 低 | FC-006 | 规则生成 |
封装 · 3 条
| 类型 | 建议 | 风险 | 证据 | 来源 | 处置 |
|---|---|---|---|---|---|
| 控制点 | 为「划片崩边 / 芯片裂纹」增加控制点:抽检 PFMEA 划片|RPN 105(S7/O3/D5,中)尚无已采纳的控制点。建议 抽检 · AQL 0.65 · 每批;规格:崩边 ≤ 25 µm 100% AOI;刀片寿命管理与进给速度 SPC。 | 中 | FM-B-P-07 FC-009 | 规则生成 | |
| 历史失效 | 参考历史案例 FC-007:铜线球焊第一焊点脱落(NSOP / ball lift) 键合脱落|封装后开盖检查第一焊点脱落(NSOP,non-stick on pad),球剪切力 <5 gf、线拉力 <3 gf 的比例 3–6%,集中在固定焊线机台与劈刀寿命末期;SEM 显示焊盘铝层仅有轻微压痕、无 IMC(金属间化合物)形成;FT 表现为 BIN9 开路或 125℃ 高温下间歇开路|预防措施:封装控制计划增加「球剪切力 / 线拉力」每批首件 KPC(≥8 gf / ≥5 gf)与劈刀寿命 KCC;OSAT 报表须含劈刀更换记录|相似 0.26:文本相似 0.01(共有:封装);同阶段 封装 | 低 | FC-007 | 规则生成 | |
| 历史失效 | 参考历史案例 FC-008:载板与塑封体分层(MSL 3 预处理 + 回流后) 分层|MSL 3 预处理 + 3 次回流后 C-SAM(超声扫描)显示 die attach 层与载板阻焊层界面分层面积 >15%,分层沿载板边缘扩展;分层样品在温循(JESD22-A104,−55/125℃ 500 cyc)后出现焊球开路;载板批号集中在 SUB-01 某一批次,其吸湿率(TGA)偏高|预防措施:载板来料检验增加固化度与表面能 KCC;供应商审核增加固化炉温控记录核查;MSL 等级验证纳入封装变更(PCN)必做项|相似 0.25:同阶段 封装 | 低 | FC-008 | 规则生成 |
FT 测试 · 2 条
| 类型 | 建议 | 风险 | 证据 | 来源 | 处置 |
|---|---|---|---|---|---|
| 控制点 | 为「测试温度未到位(实测 < 115 ℃)」增加控制点:100% 测试 PFMEA FT 热头温控|RPN 144(S8/O3/D6,中)尚无已采纳的控制点。建议 100% 测试 · 100% · 每批;规格:热头温度每班校验 ±3 ℃;浸泡时间 ≥ 2 min;FT 报表带实测温度字段。(该 FMEA 条目尚为 proposed,采纳控制点前请先确认条目) | 中 | FM-B-P-09 CH-B-FT-02 | 规则生成 | |
| 历史失效 | 参考历史案例 FC-012:车规 FT 高温(125℃)闩锁:IO 上电时序触发 latch-up 闩锁 Latch-up|FT 热测(125℃)BIN3 功能失效占比 1.5–2%,常温 FT 通过;失效 die 复测时 VDD 电流在 IO 上电瞬间跳升至 >150 mA 并保持(典型闩锁电流特征),断电后恢复;失效集中在 CAN 收发接口 IO 组;JESD78 测试在 125℃ 时 I-test 触发电流仅 60 mA(规格 ≥100 mA);与 FT 测试程序中 IO 偏置先于 VDD 上电的时序相关|预防措施:版图 latch-up 检查(guard ring 完整性)纳入 tapeout 必过项;FT 测试程序评审增加「上电时序与 latch-up 窗口」检查;JESD78 高温项列为车规 FT 阶段 KPC|相似 0.39:文本相似 0.04(共有:车规、1、ft、测试);同阶段 FT 测试;同产品 DEMO-MCU-40A | 中 | FC-012 | 规则生成 |
终端应用 · 1 条
| 类型 | 建议 | 风险 | 证据 | 来源 | 处置 |
|---|---|---|---|---|---|
| 历史失效 | 参考历史案例 FC-010:客户产线 ESD 损伤:COF 压接工位静电击穿 Source 输出 ESD 钳位管 静电放电 ESD|客户模组贴合后点亮不良(局部竖线/黑屏),退回 12 颗;失效品 Source 输出引脚对 VSS 的 I-V 曲线呈 ESD 击穿特征(HBM 类损伤,漏电 >100 µA),EMMI 热点定位在输出 ESD 钳位管,FIB 截面见钳位二极管局部熔融;同出货批留样 HBM ±2 kV / CDM ±500 V 复测全部通过;失效时间窗与客户产线 COF 压接工位离子风机故障停机(3 天)的产出完全重合|预防措施:《COF 产品客户端 ESD 操作指引》增加压接工位离子风机点检与静电监控要求;客户产线 ESD 审核纳入年度客户技术支持计划;本案例作为现场 ESD 失效的签名模板入库|相似 0.25:同阶段 终端应用 | 低 | FC-010 | 规则生成 |
控制计划覆盖 · DEMO-MCU-40A
| 阶段 | 状态 | 控制点 | 待采纳 | 未覆盖特性 | 失效引用 |
|---|---|---|---|---|---|
| 芯片设计 | 无计划 | 0 | 0 | 2 | 0 |
| 晶圆制造 | 评审中 | 3 | 2 | 0 | 0 |
| CP 测试 | 草稿 | 2 | 1 | 1 | 0 |
| 封装 | 评审中 | 4 | 1 | 0 | 0 |
| FT 测试 | 草稿 | 3 | 2 | 0 | 0 |
| 终端应用 | 无计划 | 0 | 0 | 0 | 0 |
FMEA 风险最高的条目
| 编号 | 阶段 | 失效模式 | S/O/D | RPN |
|---|---|---|---|---|
| FM-B-P-05 | 封装 | 键合脱落(第二焊点 lift) | 9/5/5 | 225 · 高 |
| FM-B-P-04 | CP 测试 | 参数离群 die 未剔除 | 8/4/6 | 192 · 中 |
| FM-B-D-04 | 芯片设计 | 冷启动欠压误复位 | 8/3/7 | 168 · 中 |
| FM-B-D-03 | 芯片设计 | 高温数据保持失效(擦写窗口收窄) | 9/3/6 | 162 · 中 |
| FM-B-P-01 | 晶圆制造 | 栅氧厚度偏薄 | 9/3/6 | 162 · 中 |
| FM-B-D-01 | 芯片设计 | 高温低压角建立时间违例 | 8/4/5 | 160 · 中 |
缺 FMEA 的阶段:终端应用